EFEM對應晶圓級全自動Dispens機器FAD5100S-WH

EFEM對應晶圓級全自動Dispens機器FAD5100S-WH

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高精度晶片管理解決方案
使用支持晶圓數組的軟體重新映射生產和精靈檢查結果(符合SECS/GEM)

EFEM對應晶圓級全自動顯示機器FAD5100S-WH圖像-1

關於售後服務

・ 無停止連續動作的高速塗抹
・ 無停止連續動作的高速對準:
　Mu SKY Capture功能
・ 自動化塗抹量:DVM功能
・ 形成了理想的塗抹模式“葉線”:MCD功能[PAT.P]
・ 防止大量不良於未然:AFC功能
・搭載晶圓映射功能
・可與EFEM連結的全自動生產
・韋赫、FOUP對應
・晶圓映射功能
・結果重映射(支持SECSGEM) ※選用配備

什麼是EFEM(設備前端模組)?
EFEM是一種進行晶片加載和卸載的模組設備,負責從收納晶片的褶皺(FOUP:Fronside Unified Pod)和被稱為晶片盒式容器中,自動取出晶片並將其運往工藝裝置中。

SPECIFICATION概要規格

名稱
全自動晶圓級顯示器FAD5100S-WH
機種型號
FAD5100S-WH
控制方式
PC/PLC控制(符合中小企業MA)
應用工件
12”韋赫,8”韋赫