EFEM對應晶圓級全自動分注機FAD5100S-WH

EFEM對應晶圓級全自動分注機FAD5100S-WH

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高精度晶圓管理解決方案
使用支持晶圓陣列的軟體重新映射生產和填充檢查結果(符合SECS/GEM)

支持EFEM的晶圓級全自動分配機器FAD5100S-WH的圖像-1

關於售後服務

・ 無停止連續工作的高速塗抹
・ 無停止連續動作的高速對準:
　Mu SKY Capture功能
・ 自動化塗層管理:DVM功能
・ 形成理想的塗抹模式“葉線”,以避免螺紋:MCD功能[PAT.P]
・ 防止大量不良於未然:AFC功能
・搭載晶圓映射功能
・可以與EFEM連結的全自動生產
・韋赫、FOUP對應
・晶圓映射功能
・結果重新映射(支持SECSGEM) ※選用配備

什麼是設備前端模組(EFEM)?
EFEM是用於加載和卸載晶圓的模組設備,負責從收納晶圓的鉤子(FOUP:Fronopen Unified Pod)和被稱為晶圓盒式的容器中,一邊保持潔淨室的標準,一邊自動取出晶圓,運送到工藝裝置中有。

SPECIFICATION概要規格

名稱
全自動晶圓級分配機器FAD5100S-WH
機種型號
FAD5100S-WH
控制方式
PC/PLC控制(符合SMEMA標準)
應用工作
12“韋赫,8”韋赫