支持EFEM的高端顯示機器FAD5700-WH

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開拓晶圓處理新時代的集成解決方案
使用支持晶圓數組的軟體重新映射生產和精靈檢查結果(符合SECS/GEM)

支持EFEM的高端顯示機器FAD5700-WH圖像-1

關於售後服務

Point
・支持最先進的半導體工藝(WLP/晶片組/異種晶片集成)
・可以塗抹在業界最高水平的KOZ上
・可與EFEM連結的全自動生產
Update
・搭載多頭獨立控制、塗抹重量自動校正功能。
・為省人化做出貢獻的最新UI。

・無停止連續動作的高速對準:
　Mu SKY Capture功能
・無停止連續動作的高度量測:
　Mu SKY Sensing功能
・自動化塗抹量:DVM功能
・防止大量不良於未然:AFC功能
・韋赫、FOUP對應
・晶圓映射功能
・結果重映射(支持SECSGEM) ※選用配備

什麼是EFEM(設備前端模組)?
EFEM是一種進行晶片加載和卸載的模組設備,負責從收納晶片的褶皺(FOUP:Fronside Unified Pod)和被稱為晶片盒式容器中,自動取出晶片並將其運往工藝裝置中。

SPECIFICATION概要規格

名稱
DISPENS MASTER
機種型號
FAD5700-WH
控制方式
PC/PLC控制(符合中小企業MA)